GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
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时间:2024-05-14 10:53:56
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基本信息
| 标准名称： | 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 |
| 英文名称： | Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属无损检验方法 |
| ICS分类： | 冶金 >> 金属材料试验 >> 金属材料化学分析 |
| 替代情况： | GB 1554-1979;GB 4057-1983;被GB/T 1554-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1995-04-18 |
| 实施日期： | 1995-12-01 |
| 首发日期： | 1979-05-26 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 峨嵋半导体材料厂 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1995-12-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：12， 字数：20千字 |
适用范围
本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
前言
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引用标准
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属无损检验方法 冶金 金属材料试验 金属材料化学分析
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